排気量:3000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa排気量:10000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa排気量:25000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa排気量:40000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa排気量:80000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa排気量:150000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa排気量:30000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa