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【水封式真空ポンプ】 排気量 :300L/min〜10000L/min 到達真空度:2.6×10^-3Pa〜5.3×10^-3Pa (要給水・6L/min〜80L/min)
排気量: 300L/min 到達真空度:2.6×10^3Pa
排気量: 500L/min 到達真空度:2.6×10^3Pa
排気量: 1500L/min 到達真空度:2.6×10^3Pa
排気量: 5000L/min 到達真空度:2.6×10^3Pa
排気量: 10000L/min 到達真空度:2.6×10^3Pa
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【メカニカルブースター】 (要後段ポンプ)
排気量:3000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa 排気量:10000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa 排気量:25000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa 排気量:40000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 10^-2Pa 排気量:80000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa 排気量:150000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa 排気量:30000L/min×後段ポンプ(ロータリー真空ポンプ)500L/min = 到達真空度 1.3×10^-1Pa
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